01.10.2025 10:40
클러스터 및 인라인 시스템
클러스터 시스템
AURION은 고객의 요구에 맞게 진공 상태에서 기판을 처리할 수 있는 멀티 챔버 시스템을 제공합니다. 사용 가능한 구성에는 로드 록 챔버, 이송 챔버, 스퍼터 및 RIE 공정을 위한 공정 모듈이 포함됩니다.
인라인 시스템
AURION은 고객의 요구에 맞게 진공 상태에서 기판을 이송하는 인라인(패스 바이) 시스템을 제공합니다. 사용 가능한 구성에는 로드 락 챔버, 전처리 챔버 및 스퍼터 챔버가 포함됩니다. 수직 및 수평 레이아웃을 사용할 수 있습니다.
범주
우리의 제안
국가
독일