속도, 해상도, 2D 또는 3D - 애플리케이션에 따라 제조업체는 반도체 제품을 검사할 때 우선순위가 다릅니다. Comet Yxlon은 특정 검사 작업에 맞는 다양한 X선 및 CT 검사 시스템을 제공합니다.
2D 라디오스코피
- 빠른 이미지 생성, 공정 중 검사에 이상적
- 주요 애플리케이션: 기존 패키징
- 간단한 와이어 본드, 비아 및 납땜 범프 검사
- 치타 및 쿠거와 함께 사용 가능 - 마이크로미터 미만의 해상도로 최단 시간에 최상의 이미지 제공
컴퓨터 라미노그래피(CL)
- 부품의 공간적 특성과 결함의 위치 및 크기 측정
- 주요 애플리케이션 고급 패키징
- 다층 패키지 및 통합 디바이스의 샘플링 검사
- 수직 빔 경로와 최고 해상도를 갖춘 Cheetah 및 Cougar와 수평 빔 경로를 갖춘 FF20 CT 및 FF35 CT 시스템에 사용할 수 있습니다
3D 컴퓨터 단층 촬영(CT)
- 공간 특성, 결함 위치 및 치수를 결정하기 위한 3D 측정
- 주요 애플리케이션: 상세한 결함 분석
- Geminy 사용자 인터페이스 덕분에 직관적인 조작이 가능한 FF20 CT 및 FF35 CT 시스템과 Cheetah 및 Cougar의 애드온으로 사용 가능합니다
- CT 측정