Bronkhorst High-Tech BV

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DIN EN ISO 9001:2015
DIN EN ISO 14001:2015
ISO/IEC 17025:2017

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Bronkhorst High-Tech BV의 질량 유량계/컨트롤러 (EL-FLOW® METAL SEALED )

금속 밀폐형 가스 질량 유량계

반도체 시장과 기타 고순도 가스 어플리케이션의 요구 사항을 충족하도록 특별히 설계된 Bronkhorst® 모델 F-111CM 질량 유량계(MFM)입니다. 이 계기는 높은 표면 품질을 특징으로 하며 금속 대 금속 씰이 있는 모듈식 구조로 되어 있어 장기간 누출 기밀성을 보장합니다. F-111CM은 진공에서 1500psig(100bar) 사이의 작동 압력에서 0.12...6 sccm에서 최대 1...50 slm(N2 기준) 사이의 유량 범위를 정밀하게 측정하는 데 적합합니다.

EL-FLOW® 메탈 실드 시리즈에는 디지털 PC-보드가 장착되어 있어 높은 정확도, 뛰어난 온도 안정성 및 빠른 응답을 제공합니다. 메인 디지털 PC-보드에는 측정 및 제어에 필요한 모든 일반 기능이 포함되어 있습니다. 이 기기는 표준 RS232 출력 외에도 아날로그 I/O도 제공합니다. 옵션으로 온보드 인터페이스를 장착하여 CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII 또는 TCP/IP, EtherNet/IP 또는 FLOW-BUS 프로토콜을 제공할 수 있습니다. EL-FLOW® 금속 밀폐형 설계는 멀티 가스/멀티 레인지 기능을 옵션으로 제공하여 (OEM) 고객에게 최적의 유연성과 공정 효율성을 제공합니다.

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Bronkhorst High-Tech BV의 질량 유량계/컨트롤러 (EL-FLOW® METAL SEALED )

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