제품 카탈로그

Bronkhorst High-Tech BV

Bronkhorst High-Tech BV

  • DIN EN ISO 9001:2015
  • DIN EN ISO 14001:2015
  • ISO/IEC 17025:2017

Bronkhorst High-Tech BV

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Bronkhorst High-Tech BV의 질량 유량계/컨트롤러 (EL-FLOW® METAL SEALED )

제품 문의  

금속 밀폐형 가스 질량 유량계

브론호스트® 모델 F-111CM 질량 유량계(MFM)는 반도체 시장 및 기타 고순도 가스 어플리케이션의 요구 사항을 충족하도록 특별히 설계되었습니다. 이 계기는 높은 표면 품질이 특징이며 금속 대 금속 씰이 있는 모듈식 구조로 되어 있어 장기간 누출 기밀성을 보장합니다. F-111CM은 0.12...6 sccm에서 최대 1...50 slm(N2 기준) 사이의 유량 범위를 진공에서 1500 psig(100 bar) 사이의 작동 압력에서 정밀하게 측정하는 데 적합합니다.

EL-FLOW® Metal Sealed 시리즈에는 디지털 PC 보드가 장착되어 있어 높은 정확도, 뛰어난 온도 안정성 및 빠른 응답을 제공합니다. 기본 디지털 PC-보드에는 측정 및 제어에 필요한 모든 일반 기능이 포함되어 있습니다. 이 기기는 표준 RS232 출력 외에도 아날로그 I/O도 제공합니다. 옵션으로 온보드 인터페이스를 장착하여 CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII 또는 TCP/IP, EtherNet/IP 또는 FLOW-BUS 프로토콜을 제공할 수 있습니다. EL-FLOW® 금속 밀폐형 설계는 다중 가스/다중 범위 기능(옵션)을 갖추고 있어 (OEM) 고객에게 최적의 유연성과 공정 효율성을 제공합니다.

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질량 유속 측정기 분야의 제품 더보기

질량 유속 측정기 (EL-FLOW® SELECT)

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질량 유속 측정기

브롱호스트 하이테크는 시중에서 가장 광범위한 열 질량 유량계 및 컨트롤러 제품군을 제공합니다. 실험실, 산업 및 방폭 지역의 응용 분야를 위해 다양한 스타일의 표준 및 맞춤형 계기를 제공할 수 있습니다.

질량 유속 측정기 (Mass-Stream™)

바이패스가 없는 직접 열 질량 유량계(MFM) 및 질량 유량 컨트롤러(MFC), 아날로그 또는 디지털 출력, 엘라스토머 밀폐형. 낮은 압력 강하, 오염에 대한 감도 감소, 로컬 작동 및 표시(실제/총 유량)를 위한 TFT 디스플레이 옵션, IP65 내후성 구조가 특징입니다.

MASS-STREAM™ 시리즈 D-6300

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질량 유속 측정기 (LOW-ΔP-FLOW)

LOW-ΔP-FLOW 질량 유량계 및 질량 유량 컨트롤러

압력 강하가 낮거나 부식성 가스가 있는 어플리케이션

용 차압이 낮은 어플리케이션용 브롱호스트는 LOW-ΔP-FLOW 시리즈의 질량 유량계와 질량 유량 컨트롤러를 개발했습니다. 이 계기에서는 특수 센서와 바이패스 설계를 사용하여 압력 강하를 최소화합니...

방폭형 질량 유량계 (EX-FLOW)

EX-FLOW 방폭형 가스용 질량 유량계 및 질량 유량 컨트롤러

ATEX 승인 구역 1(본질 안전)

EX-FLOW 기기는 방폭 구역의 가스 어플리케이션에 사용할 수 있는 견고한 열 유량계 및 질량 유량 컨트롤러입니다. 본질 안전 측정 헤드는 ATEX 114 지침 2014/34/EU에...