Bronkhorst High-Tech BV의 질량 유량계/컨트롤러 (EL-FLOW® METAL SEALED )
금속 밀폐형 가스 질량 유량계
브론호스트® 모델 F-111CM 질량 유량계(MFM)는 반도체 시장 및 기타 고순도 가스 어플리케이션의 요구 사항을 충족하도록 특별히 설계되었습니다. 이 계기는 높은 표면 품질이 특징이며 금속 대 금속 씰이 있는 모듈식 구조로 되어 있어 장기간 누출 기밀성을 보장합니다. F-111CM은 0.12...6 sccm에서 최대 1...50 slm(N2 기준) 사이의 유량 범위를 진공에서 1500 psig(100 bar) 사이의 작동 압력에서 정밀하게 측정하는 데 적합합니다.
EL-FLOW® Metal Sealed 시리즈에는 디지털 PC 보드가 장착되어 있어 높은 정확도, 뛰어난 온도 안정성 및 빠른 응답을 제공합니다. 기본 디지털 PC-보드에는 측정 및 제어에 필요한 모든 일반 기능이 포함되어 있습니다. 이 기기는 표준 RS232 출력 외에도 아날로그 I/O도 제공합니다. 옵션으로 온보드 인터페이스를 장착하여 CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII 또는 TCP/IP, EtherNet/IP 또는 FLOW-BUS 프로토콜을 제공할 수 있습니다. EL-FLOW® 금속 밀폐형 설계는 다중 가스/다중 범위 기능(옵션)을 갖추고 있어 (OEM) 고객에게 최적의 유연성과 공정 효율성을 제공합니다.
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